多弧溅射在靶材上施小电压大电流的作用

多弧溅射在靶材上施小电压大电流使材料离子化（带正电颗粒），从而高速击向基片(负电)并沉积，形成致密膜坚硬膜。主要用于耐磨耐蚀膜。中频溅射的原理跟一般的直流溅射是相同的,不同的是直流溅射把筒体当阳极,而中频溅射是成对的,筒体是否参加必须视整体设计而定,与整个系统溅射过程中,阳极阴极的安排有关,参与的比率周期有很多方法,不同的方法可得到不相同的溅射产额,得到不相同的离子密度中频溅射主要技术在于电源的设计与应用,目前较成熟的是正弦波与脉冲方波二种方式输出,各有其优缺点,首先应考虑膜层种类,分析哪种电源输出方式适合哪种膜层,可以用电源特性来得到想要的膜层效果.中频溅射也是磁控溅射的一种,一般真空镀膜机磁控溅射靶的设计,磁场的设计是各家技术的重点,国际几个有名的溅射靶制造商,对靶磁场的设计相当专业,改变磁场设计能得到不相同的等离子体蒸发量.电子的路径,等离子体的分布.关于阴极弧（也就是离子镀），磁控溅射，以及坩埚蒸发都属于PVD（物理气相沉积），坩埚蒸发主要是相变，蒸发靶材只有几个电子伏特的能量。

真空离子镀膜设备的操作步骤是什么

在操作真空离子镀膜设备时，请参阅设备规格、仪表板指针显示和每个旋钮下的标记说明：检查真空离子镀膜设备操作控制开关处于“关闭”位置。打开主电源开关为设备供电。按“复位”和钮复位整台机器的控制电源。

启动水冷却系统，连接真空离子镀膜设备的冷却水。操作台上的控制方式选择开关是以“自动齿轮”保持泵VP1和VP2启动，助推器泵BP和扩压泵DP启动预热，时间约60分钟。将全缠绕铝线送丝盘放入轴销，然后安装在支撑板上。

铝线通过送丝轮和管道通到蒸发船的顶部，调整弹簧的张力，使压轮不打滑地压紧铝丝，使铝线顺利运输。用石墨纸包裹蒸发舟的两端，然后将其压入电极。关闭蒸发罐挡板。基材卷筒安装在卸料轴上，空卷筒安装在收集器轴上，然后放卷座和卷轴座分别固定。调整基材和筒芯的位置，并将筒芯泵紧。

在触摸屏主控制屏上设置真空离子镀膜设备的卷绕参数，包括直径、宽度、张力、停止直径、卷绕速度、卷绕张力等。根据卷绕流程图，从放电轴绘制基片，并将其缠绕到采集轴，并在操作过程中对薄膜进行紧固和对齐。按下操作台上的“收卷”按钮，收卷系统按设定值进入零速张力保持状态，收卷系统将收卷物料。

真空PVD镀膜涂层工艺冷却如何进行？

1.高阀关闭，真空计关闭，真空室与泵组隔离；

2.当操作人员按下N2vent按钮，预先接好的氮气会通过N2充气阀充入真空室，当真空室内的压力达到压力开关预设的压力时，N2充气阀关闭。

3.真空室内充入了大量N2，真空度很低，更加有利于热传导，所以降温速度比不充冷却N2时快很多，缩短冷却时间，提高生产效率，实际冷却时间可由原来的90分钟缩短为60分钟。

4.由于氦气的热传导率更高，所以充入冷却氦气比氮气降温速度更快，但是成本也更高。

5.国外设备快速冷却程序，通过冷却气体的循环冷却，能缩短冷却时间50%。

为什么要进行压升率测试？

真空环境条件是影响终涂层质量重要的因素。镀膜前，必须进行压升率测试，以保证真空环境条件满足镀膜标准。

怎样进行压升率测试？

在我们的自动镀膜工艺中，压升率测试是自动进行。当真空室内真空度达到工艺设定的本底真空后，进入压升率测试步骤。

系统会自动关闭高阀，此时真空室与泵组隔离，真空室内压力会升高。在一定时间内（一般1分钟），如果压力不超过设定的报警值，系统会自动进行下一步程序，进入镀膜步骤。如果压力超过设定的报警值，系统会有报警提示，此时，操作人员应按照操作流程，再次进行抽真空和加热烘烤，然后重复进行压升率测试，直至压升率满足镀膜条件。