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镀膜设备 大型磁控溅射镀膜设备 至成真空科技
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真空电镀设备的监控方法

真空电镀设备的监控方法1、目视监控:使用眼睛监控,因为薄膜在生长的过程中,由于干涉现象会有颜色变化,我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的,此种方式有一定的误差,所以不是很准确,需要依靠经验。2、极值监控法:当膜厚度增加的时候其反射率和穿透率会跟着起变化,当反射率或穿透率走到极值点的时候,就可以知道镀膜之光学厚度ND是监控波长(入)的四分之一的整倍数。但是极值的方法误差比较大,因为当反射率或者透过率在极值附近变化很慢,亦就是膜厚ND增加很多,R/T才有变化。反映比较灵敏的位置在八分之一波长处。3.定值监控法:此方法利用停镀点不在监控波长四分之一波位,然后由计算机计算在波长一时总膜厚之反射率是多少,此即为停止镀膜点。


多弧离子真空磁控溅射镀膜机工作原理蒸发系统的结构与工作原理介绍

多弧离子镀膜机是一种、无害、无污染的离子镀膜设备,具有堆积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简略、本钱低、出产量大的长处。

真空多弧离子镀膜机偏压电源的作业原理

离子镀膜正本是离子溅射镀膜,关于导电靶材,运用直流偏压电源;非导电靶材,运用脉冲偏压电源。有的多弧离子镀膜机,可能还需求直流电弧电源或脉冲电弧电源

偏压电源正本即是在阴极和样品所在位置的阳极之间构成偏压电场,通常是阴极加负高压。阴极外表的自由电子在电场效果下定向加快发射,发射电子炮击气体分子,使之电离,并且气体被驱出的电子被电场加快,持续电离别的气体分子,接二连三,构成雪崩效应,气体被击穿,构成稳定的电离电流。此刻离子也被加快,炮击靶材,将靶材中的原子驱除出外表,并堆积在样品外表。


装饰性真空镀膜设备涂层的作用和要求装饰性真空镀的涂层一般分为底涂层和面涂层两种。为了满足产品的不同技术要求,可施涂底涂层和面涂层,或在面涂层上再施涂彩色涂层、保护涂层等。这些涂层的主要作用是:提高膜层的结合力。采用相同的镀膜方法,在塑料基体上施涂底涂层再真空镀膜,可提高膜层的结合力。降低镀件表面的粗糙度,提高光亮度。一般镀件表面都存在微观不平整度,不一定厚度涂料的整平性,可以填补镀件表面的缺陷,使镀件表面达镜面平整度。能保护金属膜层。真空镀膜层一般只有100nm,膜层的耐磨性和抗变色能力较差,施涂面涂层后,镀膜层与外界不直接接触,对镀膜层能起保护作用。

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